在半導(dǎo)體、硬盤(pán)、平板顯示器的制造賽道上，環(huán)境把控是不容有失的生命線 —— 一絲一毫的質(zhì)量缺陷，都可能轉(zhuǎn)化為難以估量的經(jīng)濟(jì)損失。而守住這條生命線的關(guān)鍵，就是對(duì)潔凈車(chē)間、工藝核心區(qū)的環(huán)境粒子，進(jìn)行毫厘不差的測(cè)量與計(jì)數(shù)。
TSI，擁有近 60 年高靈敏度粒子計(jì)數(shù)器研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，是行業(yè)內(nèi)名副其實(shí)的 “老牌標(biāo)桿”。其儀器憑借無(wú)可挑剔的準(zhǔn)確性、重復(fù)性與可靠性，成為全球多國(guó)國(guó)家級(jí)標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室的信賴之選。
可精確測(cè)量0.100μm的粒子，粒徑范圍為0.100至10.0 μm，可同時(shí)檢測(cè)多達(dá)八個(gè)通道的粒子數(shù)據(jù)，1.0 CFM (28.3 L/min)流速，能夠滿足半導(dǎo)體潔凈室應(yīng)用的苛刻要求。 應(yīng)用領(lǐng)域 ? 潔凈窒微粒子監(jiān)測(cè),過(guò)程監(jiān)控和過(guò)濾器測(cè)試 ? I 級(jí)和 II 級(jí)無(wú)塵室檢測(cè) ? 適用于單機(jī)運(yùn)行或集成到設(shè)施監(jiān)控系統(tǒng) 精確檢測(cè)0.100 μm的粒子 0.100至10.0 μm粒徑范圍 可同時(shí)檢測(cè)多達(dá)八個(gè)通道的粒子數(shù)據(jù) 1.0 CFM (28.3 L/min)流速 符合ISO 21501-4標(biāo)準(zhǔn)中所有要求 I級(jí)和II級(jí)無(wú)塵室檢測(cè)最佳選擇 完全符合ISO 21501-4要求 可生成ISO-14644-1，EU GMP Annex1和FS209E的符合性報(bào)告 通過(guò)TRAKPRO Lite Secure軟件輸出的外部認(rèn)證報(bào)告 采用增強(qiáng)HeNe激光 高可重復(fù)和高可靠檢測(cè)/數(shù)據(jù) 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：250區(qū)，999個(gè)位置和10,000個(gè)樣本 USB、以太網(wǎng)和脈沖輸出 工業(yè)級(jí)高分貝報(bào)警 允許存儲(chǔ)和回放特定測(cè)試/配置 顯示多達(dá)三個(gè)環(huán)境參數(shù) 不銹鋼外殼 無(wú)縫整合M32-01多點(diǎn)采樣器 無(wú)塵室分類達(dá)到ISO I級(jí)
特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)
9110型可以通過(guò)打印機(jī)和配套的TrakProTM LiteSecure下載軟件生成符合ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)的通過(guò)或非符合的報(bào)告。它不僅可以作為單機(jī)粒子計(jì)數(shù)器使用，也可以集成于在線粒子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。是市面上唯一一款提供此售后保證的便攜式 0.100μm 粒子計(jì)數(shù)器。 對(duì)于半導(dǎo)體制造而言，潔凈度就是生命線 —— 不僅關(guān)系到潔凈室是否合規(guī)，更直接決定最終產(chǎn)品品質(zhì)。唯有實(shí)現(xiàn)無(wú)污染生產(chǎn)，才能從源頭減少缺陷、降低良率損失，讓設(shè)備運(yùn)行更穩(wěn)定可靠。
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